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PD 系列 乾式螺旋真空泵
- 型號
- 產品簡介
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漢鐘精機PD系列乾式螺旋真空泵浦乃是利用一對互相咬合的螺旋轉子，在轉子間維持微小的間隙，使得真空泵浦運轉時腔體內無需潤滑，因而無油氣回漏污染的問題。透過專利轉子線形良好的密封效果，終極壓力可達7.5 × 10-3 Torr (搭上魯式泵浦可達7.5 × 10-4 Torr)。螺旋式真空泵浦由於排氣路徑短，粉塵移除能力較其他型式的真空泵浦強，加上轉子表面披覆特殊材質的鍍層，因此可適用於各類嚴苛製程
- 規格
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產品介紹
泵浦 溫度控制精準
乾式螺旋真空泵浦，承襲上一代真空泵浦優良的轉子設計，同時改善殼體的冷卻方式，採用水套間接水冷的方式來降低殼體的溫度，能夠更精準地控制泵浦內部溫度，減少沉積物的產生，增加真空泵浦的壽命
密封馬達安全性高
真空泵浦亦全面採用專利設計的水冷罐裝密封馬達，除了能維持更低的馬達運轉溫度增加馬達的壽命外，也可完全避免製程氣體外漏的風險
微電腦控制保護周全
真空泵浦亦可配備微電腦控制器，可同時監控馬達電流、馬達溫度、殼體溫度、冷卻水流量、氮氣流量以及齒輪箱油位高低，提供真空泵浦完整的安全性保護，十分適用於光電、半導體、太陽能與TFT-LCD等產品穩定性要求極高之產業
專利轉子線型設計
利用螺旋轉子的流體傳輸特性，搭配轉子線型專利設計，可於運轉中有效防止氣體回漏，適合各種嚴苛製程。且變導程轉子設計，達到節能目的
以下為漢鐘精機股份有限公司所提供的乾式真空泵浦的型號種類
PD系列乾式螺旋真空泵浦 S／N型為無罩式的乾式螺旋真空泵浦機型
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乾式螺旋真空泵浦 S／N型的型號有： PD-120、PD-200、PD-300、PD-500、PD-800、PD-702、PD-1202、PD-1222、PD-1822、PD-2602、PD-3012 PD 乾式螺旋真空泵浦 S／N型的特色有： 抽氣速度：1600 ~ 50000 L/Min 終極壓力：7.5 x 10-3 ~ 7.5 x 10-4 Torr 選配中央監控系統，預防真空泵浦不正常停機 選配變頻及人性化操控介面 適用於一般真空鍍膜、烤箱、熱處理、食品、化學工業應用 |
PD系列乾式螺旋真空泵浦 S／N型之機型分類及其適用解說
| 機型 | 適用產業 |
| PD-120-S PD-200-S PD-300-S PD-500-S PD-800-S PD-702-S PD-2602-S PD-3012-S |
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| PD-120-N PD-200-N PD-300-N PD-500-N PD-800-N PD-702-N PD-1202-N PD-1222-N PD-1822-N PD-2602-N PD-3012-N |
一般真空鍍膜、烤箱、熱處理、食品、化學工業應用 (選配電控泵浦) |
PD系列乾式螺旋真空泵浦 A／H型為有罩式的乾式螺旋真空泵浦機型
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乾式螺旋真空泵浦 A／H型的型號有： D-120、PD-200、PD-300、PD-500、PD-800、PD-702、PD-1202、PD-1222、PD-1822、PD-2602、PD-3012等 PD系列乾式螺旋真空泵浦 A／H型的特色有： 抽氣速度：1600 ~ 50000 L/Min 終極壓力：7.5 x 10-3 ~ 7.5 x 10-4 Torr 整合式氮氣加熱系統，減少氣體沉積，延長保養週期及壽命 中央監控系統，預防真空泵浦不正常停機 適用於半導體、TFT-LCD、LED等光電產業、太陽能、熱處理應用 |
PD系列乾式螺旋真空泵浦 A／H型之機型分類及其適用解說
| 機型 | 適用產業 |
| PD-120-A PD-200-A PD-300-A PD-500-A PD-800-A PD-702-A PD-1202-A PD-1222-A PD-1822-A PD-2602-A PD-3012-A |
半導體、TFT/LCD、LED與太陽能電池產業 (電控整合泵浦) |
| PD-120-H PD-200-H PD-300-H PD-500-H PD-800-H PD-702-H PD-1202-H PD-1222-H PD-1822-H PD-2602-H PD-3012-H |
半導體、TFT/LCD、LED與太陽能電池產業 (高溫泵浦) |
配合各產業客戶需求，PD 系列真空泵皆可選用氣冷馬達 (PDE系列) 或是 防爆馬達 (PDC系列) 搭配
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